研究論文 research thesis

弊社における電気容量型湿度センサ開発の黎明期の報告です。感湿材料には多孔質アルミナを用いました。当時は、有機物よりも無機物の方が安定性に優れると考えていました。

反応性イオンプレーティング法による多孔質アルミナを感湿部に用いた電気容量型湿度センサ素子の基礎特性に関する報告です。

多孔質アルミナ薄膜の成膜条件と相対湿度-電気容量特性との関係およびアルミナの水和の促進による特性の安定化に関する報告です。無機物の水和の程度を制御することはかなり困難であることに気が付き始めました。

いくつかの有機物と無機物を感湿材料に用い電気容量型湿度センサのメカニズムを調べました。特異な構造を持つ有機高分子ではその相対湿度-電気容量特性の温度依存性が殆どないことが分かりました。感湿材料は有機物であるべきと考え始めました。

架橋構造を持つ化学的に安定と考えられる有機物をプラズマ重合法で成膜し吸着等温線の計測と共に電気容量型湿度センサ素子を作製し基礎特性を計測しました。

プラズマ重合法で成膜した感湿膜を用いた電気容量型湿度センサの相対湿度-電気容量特性、湿度のステップ的変化に対する電気容量変化の時間応答性、様々な環境における長期安定性に関する報告です。残留するラジカル等の制御が難しいことを感じ始めました。

ポリメチルメタクリレートとポリビニルアルコールを感湿材料とした電気容量型湿度センサの感湿機構に関する報告です。水酸基は水分子の吸着熱が大きいため高性能な感湿材料に含まれるべき親水基としては適さないことが分かりました。

ポリフェノール系樹脂を感湿材料とした電気容量型湿度センサの各種湿度特性に関する報告です。

いくつかの有機物と無機物を感湿材料に用い電気容量型湿度センサのメカニズムを調べました。高性能な電気容量型湿度センサの感湿材料が備えるべき性質を明らかにしました。

高性能な電気容量型湿度センサの感湿材料が備えるべき性質を実際に備えていると考えられる感湿材料を用い電気容量型湿度センサを作製しました。また、その各種湿度特性が優れていることを報告しています。

電気容量型湿度センサの感湿機構を詳細に調べ高性能な電気容量型湿度センサの感湿材料が備えるべき性質を明らかにしました。また、その性質を実際に備えていると考えられる感湿材料を用い電気容量型湿度センサを作製し、その各種湿度特性が優れていることを報告しています。

電気容量型湿度センサの感湿膜の多層化による相対湿度-電気容量特性の直線性の改善に関する報告です。