ダイヤモンド薄膜合成の研究論文


<査読の付いた論文>
(1) K.Suzuki, A.Sawabe, H.Yasuda and T.Inuzuka;
    "Growth of Diamond Thin Films by dc Plasma Chemical Vapor Deposition"  
    Appl. Phys. Lett. 50 (1987) pp.728-729

(2) K.Suzuki, A.Sawabe and T.Inuzuka;
    "Characterizations of the dc Discharge Plasma During Chemical Vapor 
    Deposition for Diamond Growth"  
    Appl. Phys. Lett. 53 (1988) pp.1818-1819

(3) 安田浩明、澤辺厚仁、犬塚直夫、鈴木一博;
    「直流放電を用いた気相成長法によるダイヤモンド薄膜の作製と評価」
    真空 31 (1988) pp.637-643

(4) A.Sawabe, H.Yasuda, T.Inuzuka and K.Suzuki;
    "Growth of Diamond Thin Films in a DC Discharge Plasma"  
    Appl. Surf. Sci. 33/34 (1988) pp.539-545

(5) S.Koizumi, K.Suzuki, A.Sawabe and T.Inuzuka;
    "Growth of Diamond by Atomic Vapor Deposition"  
    J. Cryst. Growth 99 (1990) pp.1188-1191

(6)S.Koizumi, T.Murakami, K.Suzuki and T.Inuzuka;
    "Epitaxial Growth of Diamond Thin Films on Cubic Boron Nitride 
   {111}Surfaces by dc Plasma Chemical Vapor Deposition"  
    Appl. Phys. Lett. 57 (1990) pp.563-565
                      
(7)K.Suzuki, A.Sawabe and T.Inuzuka;
    "Growth of Diamond Thin Films by dc Plasma Chemical Vapor Deposition and 
    Characteristics of the Plasma" 
    Jpn. J. Appl. Phys. 29 (1990) pp.153-157

(8)T.Inuzuka, S.Koizumi and K.Suzuki;
    "Epitaxial growth of diamond thin films on foreign substrates"
    Diamond and Related Materials, 1 (1992) pp.175-179  

(9)N.Yokonaga,Y.katsu,T.Machida,T.Inuzuka, S.Koizumi and K.Suzuki
    "Oriented growth of diamond on thermally carburized silicon substrates"
    Diamond and Related Materials,5 (1996) pp.43-47

(10)K.Ohtsuka, K.Suzuki, A.Sawabe and T.Inuzuka 
    " Epitaxial growth of diamond on iridium  "  
    Jpn.J.Appl.Phys.35 (1996) pp.L1072-L1074

(11)K.Ohtsuka, H.Fukuda, K.Suzuki and A.Sawabe 
    " Fabrication of epitaxial diamond thin film on iridium  "  
    Jpn.J.Appl.Phys.36 (1997) pp.L1214-L1216

(12)澤辺厚仁、福田秀夫、鈴木一博
    「ダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長」
    電子情報通信学会誌C−2、J81-C-2 (1998) pp.162-171

<査読を伴わない論文>

(13) 小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
    「比較的平坦な表面形状を持つダイヤモンド薄膜の成長」
    MES’91 第4回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 
    (1991) pp.217-220 
    アルカディア市ヶ谷、東京  ハイブリッドマイクロエレクトロニクス協会(SHM)

(14) 横長徳之、町田宅広、小泉聡、犬塚直夫、鈴木一博;
    「シリコン下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    MAS’95 第6回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 
    (1995) pp.75-78   
    大宮ソニックシティ、埼玉  エレクトロニクス実装技術協会

<国際会議資料>
(15) 1989年8月23日
    S.Koizumi, T.Inuzuka, A.Sawabe and K.Suzuki
    "Growth of diamond by atomic vapor deposition"
    Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
    Part 2 Section V-XVI pp.1188-1191

(16) 1994年9月21日
    N.Yokonaga, T.Machida, S.Koizumi, K.Suzuki and T.Inuzuka
    "Oriented Growth of Diamond on "Hydrogen Terminated" 
    Silicon Substrate"
  Abstracts of the fourth international conference on the new diamond 
    science and technology p.219
     
(17) 1994年9月21日
    T.Machida, N.Yokonaga, S.Koizumi, K.Suzuki and T.Inuzuka
    "Oriented Growth of Diamond on Si by DC Plasma CVD" 
  Abstracts of the fourth international conference on the new diamond 
    science and technology p.220 

(18) 1997年8月6日  (invited) 
    K.Suzuki,K.Ohtsuka,H.Fukuda and A.Sawabe
    "Epitaxial Growth of Diamond on Iridium by DC-PCVD Method"
    Abstract book of 8th European Conference on Diamond, Diamond-like and 
    Related Materials jointly with Applied Diamond Conference 1997 4th 
    International Conference on the Applications of Diamond Films and Related 
    Materials  p.10.1

(19) 1998年3月4日  (invited)
     K.Suzuki,H.Fukuda and A.Sawabe
    "Epitaxial Growth of Diamond Thin Films on Iridium Surface"
     Proceedings of The 5th NIRIM (National Institute for Research in Inorganic 
     Materials) International Symposium on Advanced Materials pp.89-92

<国際会議を除く研究会資料>
(20) 1985年6月4日
  A.Sawabe, K.Suzuki and T.Inuzuka 
  "Growth of Diamond Thin Films by Electron-Assisted Chemical Vapor 
  Deposition"
    Proceedings of 9th Symposium on ISIAT '85 Tokyo (1985) pp.243-246

(21)1986年11月25日 
    鈴木一博、安田浩明、澤辺厚仁、鍋田庸一、犬塚直夫;
    「直流プラズマCVD法によるダイヤモンドの合成」
    第1回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.19-20  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(22)1987年12月14日
     鈴木一博、雨宮隆久、澤辺厚仁、鍋田庸一、犬塚直夫;
  「直流プラズマCVD法におけるダイヤモンド合成時のプラズマ状態の評価」
    第2回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.17-18  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(23) 1989年12月1日
    鈴木一博、村上智子、小泉聡、犬塚直夫;
  「c−BN表面へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第3回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.75-76  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(24)1991年1月23日
    小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
   「シリコン表面におけるダイヤモンド薄膜初期成長過程の観察」
    第4回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.119-122   
    ニューダイヤモンドフォーラム

(25)1991年12月5日
     小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
    「ダイヤモンドのエピタキシャル成長過程の観察」
    第5回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.6-7 
    ニューダイヤモンドフォーラム

(26)1992年5月15日
    鈴木一博;
    「直流プラズマCVD法によるダイヤモンド合成」
    電子材料表面処理技術部会 第16回例会資料 pp.1-9 
    表面技術協会

(27)1992年11月26日
    梅内伸、小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
  「ニッケル表面でのダイヤモンドの核発生とエピタキシー」
    第6回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.4-5
    ニューダイヤモンドフォーラム

(28)1993年11月29日
    町田宅広、大関聡、横長徳之、小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
  「三電極型直流プラズマCVD法によるSi表面へのダイヤモンド成長」
    第7回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.96-97 
    ニューダイヤモンドフォーラム

(29)1994年11月25日
    横長徳之、町田宅広、小泉聡、鈴木一博、犬塚直夫;
  「炭化したシリコン下地へのダイヤモンド成長」
    第8回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.104-105 
    ニューダイヤモンドフォーラム

(30)1995年11月21日
    横長徳之、杉森俊哉、鈴木一博、犬塚直夫;
  「β−SiC下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第9回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.4-5 
    ニューダイヤモンドフォーラム

(31)1996年5月24日 
    鈴木一博、大塚一樹、澤辺厚仁
  「イリジウム薄膜表面へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    犬塚 直夫先生追悼 ニューダイヤモンドフォーラム合同分科会´96
  −ダイヤモンドのエピタキシャル成長を徹底討論する−」講演要旨集 pp.41-46
    ニューダイヤモンドフォーラム

(32)1997年12月1日
    前出淳、石原弘嗣、鈴木一博、澤辺厚仁
    「ヘテロエピタキシャルダイヤモンド薄膜からのフィールドエミッション特性」
    第11回 ダイヤモンドシンポジウム 講演要旨集 pp.166-167    
  ニューダイヤモンドフォーラム

<解説>
(33) 小泉聡、 鈴木一博、 犬塚直夫;
    「ダイヤモンド薄膜合成に関する最近の話題」 材料科学 25 (1988) 271-276

(34) 鈴木一博、 犬塚直夫;
    「直流プラズマCVD法によるダイヤモンド合成」  
    表面技術、42 (1991) 1196-1198

(35) 鈴木一博、 大塚一樹、 澤辺厚仁;
  「イリジウム薄膜表面へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」 
  NEW DIAMOND、44 (1997) 20-21

<書籍>
(36) 「ダイヤモンド薄膜技術」 (1988) pp.101-115  総合技術センター  (共著)

<国際会議以外の口頭発表>
(37)1984年3月30日
    「CVD法によるダイヤモンドの合成(T)」
    第31回応用物理学関係連合講演会  明治大学工学部  応用物理学会

(38)1986年11月25日
    「直流プラズマCVD法によるダイヤモンドの合成」
    第1回 ダイヤモンドシンポジウム 機械振興会館、東京  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(39)1987年3月28日
    「DCプラズマCVDによる粒状ダイヤモンドの合成」
    第34回応用物理学関係連合講演会  早稲田大学  応用物理学会

(40)1987年10月18日
    「直流プラズマCVDによるダイヤモンドの合成とそのプラズマ状態の評価」
    第48回応用物理学会学術講演会  名古屋大学  応用物理学会

(41)1987年12月14日
    「直流プラズマCVD法におけるダイヤモンド合成時のプラズマ状態の評価」
    第2回 ダイヤモンドシンポジウム 経団連会館、東京  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(42)1988年10月5日
    「原子蒸着法によるダイヤモンドの合成」
    第49回応用物理学会学術講演会  富山大学  応用物理学会

(43)1989年4月1日
    「原子蒸着法によるダイヤモンドの合成 U」
    第36回応用物理学関係連合講演会  千葉大学  応用物理学会

(44)1989年9月27日
    「立方晶窒化ホウ素粒子表面におけるダイヤモンドのエピタキシャル成長過程の観察」
    第50回応用物理学会学術講演会  福岡工業大学  応用物理学会

(45)1989年12月1日
    「c−BN表面へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第3回 ダイヤモンドシンポジウム 野口英世記念会館、東京 
    ニューダイヤモンドフォーラム

(46)1990年3月29日
    「立方晶窒化ほう素粒子表面におけるダイヤモンドのエピタキシャル成長過程の観察」
    第37回応用物理学関係連合講演会  東洋大学  応用物理学会

(47)1990年9月27日
    「シリコン表面におけるダイヤモンド薄膜の初期成長過程の観察」
    第51回応用物理学会学術講演会  岩手大学  応用物理学会

(48)1991年1月23日
    「シリコン表面におけるダイヤモンド薄膜初期成長過程の観察」
    第4回 ダイヤモンドシンポジウム ホテルニューオータニ長岡  
    ニューダイヤモンドフォーラム

(49)1991年5月10日
    「比較的平坦な表面形状を持つダイヤモンド薄膜の成長」
    MES’91 第4回マイクロエレクトロニクスシンポジウム  
    アルカディア市ヶ谷、東京  ハイブリッドマイクロエレクトロニクス協会(SHM)

(50)1991年10月10日
    「加圧型CVD法によるダイヤモンドの合成」
    第52回応用物理学会学術講演会  岡山大学  応用物理学会

(51)1991年12月5日
    「ダイヤモンドのエピタキシャル成長過程の観察」
    第5回 ダイヤモンドシンポジウム 筑波研究交流センター、
    ニューダイヤモンドフォーラム

(52)1992年3月28日
    「平面状プラズマを用いたダイヤモンド合成」
    第39回応用物理学関係連合講演会  日本大学  応用物理学会

(53)1992年3月29日
    「Ni薄膜表面におけるダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第39回応用物理学関係連合講演会  日本大学  応用物理学会

(54)1992年5月15日
    「直流プラズマCVD法によるダイヤモンド合成」
    電子材料表面処理技術部会 第16回例会 弘済会館、東京 表面技術協会

(55)1992年9月16日
    「ダイヤモンド表面におけるシリコンのエピタキシャル成長T」
    第53回応用物理学会学術講演会  関西大学  応用物理学会

(56)1992年9月16日
    「ニッケル薄膜表面におけるダイヤモンドのエピタキシャル成長U」
    第53回応用物理学会学術講演会  関西大学  応用物理学会

(57)1992年11月26日
    「ニッケル表面でのダイヤモンドの核発生とエピタキシー」
    第6回 ダイヤモンドシンポジウム 日本工業大学学友会館、
    ニューダイヤモンドフォーラム

(58)1993年9月27日
    「三電極型直流プラズマCVD法によるダイヤモンド成長」
    第54回応用物理学会学術講演会  北海道大学  応用物理学会

(59)1993年9月29日
    「燐化合物及び燐を不純物源としたダイヤモンド薄膜の作製とその評価」
    第54回応用物理学会学術講演会  北海道大学  応用物理学会

(60)1993年11月29日
    「三電極型直流プラズマCVD法によるSi表面へのダイヤモンド成長」
    第7回 ダイヤモンドシンポジウム 神戸国際会議場、兵庫
    ニューダイヤモンドフォーラム

(61)1994年3月28日
    「Si下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長T」
    第41回応用物理学関係連合講演会  明治大学  応用物理学会

(62)1994年3月30日
    「五酸化二燐を不純物源としたダイヤモンド薄膜の作製とその電気特性」
    第41回応用物理学関係連合講演会  明治大学  応用物理学会

(63)1994年9月20日
    「燐ドープ・111・ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の電気特性」
    第55回応用物理学会学術講演会  名城大学  応用物理学会

(64)1994年9月21日
    「Si下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長U」
    第55回応用物理学会学術講演会  名城大学  応用物理学会

(65)1994年11月25日
    「炭化したシリコン下地へのダイヤモンド成長」
    第8回 ダイヤモンドシンポジウム 東京工業大学、東京
    ニューダイヤモンドフォーラム

(66)1995年3月30日
    「Si下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長Щ」
    第42回応用物理学関係連合講演会  東海大学  応用物理学会

(67)1995年4月19日
    「シリコン下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    MES’95 第6回マイクロエレクトロニクスシンポジウム  
    大宮ソニックシティ、埼玉  エレクトロニクス実装技術協会

(68)1995年8月26日
    「Si下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長W」
    第56回応用物理学会学術講演会  金沢工業大学  応用物理学会

(69)1995年11月21日
    「β−SiC下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第9回 ダイヤモンドシンポジウム 青山学院大学、東京
    ニューダイヤモンドフォーラム

(70)1995年11月22日
     「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第9回 ダイヤモンドシンポジウム 青山学院大学、東京
    ニューダイヤモンドフォーラム     (Late News)

(71)1996年3月26日
    「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    第43回応用物理学関係連合講演会  東洋大学  応用物理学会
  
(72)1996年3月27日
    「ホモエピタキシアルダイヤモンド薄膜からの電界電子放出」      
    第43回応用物理学関係連合講演会  東洋大学  応用物理学会
  
(73)1996年5月24日
    「イリジウム薄膜表面へのダイヤモンドのエピタキシャル成長」
    犬塚 直夫先生追悼 ニューダイヤモンドフォーラム合同分科会´96
  −ダイヤモンドのエピタキシャル成長を徹底討論する−」
    電気通信大学 ニューダイヤモンドフォーラム

(74)1996年9月7日
    「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長U」
    第57回応用物理学会学術講演会  九州産業大学  応用物理学会
  
(75)1996年9月7日
    「ホモエピタキシアルダイヤモンド薄膜からの電界電子放出U」      
    第57回応用物理学会学術講演会  九州産業大学  応用物理学会

(76)1996年12月3日
     「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル薄膜の作製」
    第10回 ダイヤモンドシンポジウム 電気通信大学、東京
    ニューダイヤモンドフォーラム   (Late News)

(77)1997年3月28日
    「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長V」
     第44回応用物理学関係連合講演会  日本大学船橋校舎  応用物理学会

(78)1997年10月2日
     「イリジウム下地へのダイヤモンドのエピタキシャル成長W」
    第58回応用物理学会学術講演会  秋田大学  応用物理学会
  
(79)1997年10月3日
    「燐添加ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜からの電子放出特性」      
    第58回応用物理学会学術講演会  秋田大学  応用物理学会
  
(80)1997年12月1日
    「ヘテロエピタキシャルダイヤモンド薄膜からのフィールドエミッション特性」
    第11回 ダイヤモンドシンポジウム 大阪大学、大阪
    ニューダイヤモンドフォーラム

<国際会議の口頭発表>
(81) 1987年8月24日
     A.Sawabe, H.Yasuda, T.Inuzuka and K.Suzuki;
  "Growth of Diamond Thin Films in a DC Discharge Plasma"
    Fourth International Conference on Solid Films and Surfaces   ICSFS-4  
    グランドホテル浜松 Research Institute of Electronics, Shizuoka University

(82) 1989年8月23日
    S.Koizumi, T.Inuzuka, A.Sawabe and K.Suzuki
    "Growth of Diamond by Atomic Vapor Deposition"
    9th International Conference on Crystal Growth  仙台  ICCG-9

(83) 1994年9月21日
    N.Yokonaga, T.Machida, S.Koizumi, K.Suzuki and T.Inuzuka
    "Oriented Growth of Diamond on "Hydrogen Terminated" 
    Silicon Substrate"
  The fourth international conference on the new diamond science
    International Conference Center Kobe JAPAN 

(84) 1994年9月21日
    T.Machida, N.Yokonaga, S.Koizumi, K.Suzuki and T.Inuzuka
    "Oriented Growth of Diamond on Si by DC Plasma CVD" 
  The fourth international conference on the new diamond science
    International Conference Center Kobe JAPAN 

(85) 1997年8月6日    (Invited)
    K.Suzuki, K.Ohtsuka, H.Fukuda and A.Sawabe
    "Epitaxial Growth of Diamond on Iridium by DC-PCVD Method"
    8th European Conference on Diamond, Diamond-like and Related Materials
    jointly with Applied Diamond Conference 1997 4th International Conference
    on the Aplications of Diamond Films and Related Materials
    Heriot-Watt University,Edinburgh,Scotland   

(86) 1998年3月4日  (invited)
     K.Suzuki,H.Fukuda and A.Sawabe
     "Epitaxial Growth of Diamond Thin Films on Iridium Surface"
     Proceedings of The 5th NIRIM International Symposium on Advanced 
     Materials pp.89-92
     NIRIM, Tsukuba,National Institute for Research in Inorganic Materials


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