よくある質問と回答

湿度計測や薄膜試作について、皆様から寄せられるよくある質問にお答えしております。
各質問をクリックすると、回答が表示されます。こちらに掲載されていないご不明点はお気軽にお問い合わせ下さい。

湿度計測に関するよくある質問と回答

特性や仕様に関して

  • 湿度だけでなく気体温度も計測できますか。

    はい。標準では温度センサが装着されていない機種におきましてもオプションで温度センサを選択できます。
  • 露点温度は計測できますか。

    はい、できます。温湿度露点変換器TAD80、または温度・露点変換器TAD65Dが候補となります。
  • 絶対湿度は計測できますか。

    はい、できます。絶対湿度センサTAA80が候補となります。
  • 結露が発生すると湿度センサ素子は壊れますか。

    基本的には壊れません。但し、塩類等不純物を含む結露が長時間継続した場合は、特性の劣化が発生します。「センサフィルターキャップ」や「湿度センサ素子の防水撥水加工」等のオプションを利用して、可能であれば結露を防いで下さい。湿度センサ素子の表面が濡れている場合には、正しい湿度計側はできません。
  • 水滴や粉塵がセンサ部に飛来する可能性が高いのですが。

    「センサフィルターキャップ」をご使用下さい。
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  • 屋外でも使用できますか。

    はい、できます。軒下、百葉箱の中、ウェザーシールドの中など直接の風雨や日光が避けられる環境でご使用下さい。また、センサの劣化を抑制するために、ご使用環境によりましては「センサフィルターキャップ」や「湿度センサ素子の防水撥水加工」等のオプションをご選択下さい。
  • 真空中で湿度を計測できますか。

    はい、可能です。耐圧型のセンサ部をご指定下さい。
  • 加圧下で湿度を計測できますか。

    はい、可能です。耐圧型のセンサ部をご指定下さい。
  • 空気以外の気体中でも湿度計測はできますか。

    窒素、
    酸素、水素、メタン、アルゴン、ヘリウム等の無極性気体中で使用可能です。
  • 市販のデータロガーに接続できますか。

    はい基本的には問題ございません。例えばDC0-5V等のアナログ電気信号を入力できる機種をご用意下さい。センサからの気体温度出力が電圧や電流ではなく電気抵抗の場合は、Pt100Ω3線式で入力できる機種をご用意下さい。
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  • 氷点下でも使用できますか。

    はい、使用可能です。ただし、センサ素子表面に霜が発生する環境では物理的に湿度センサ素子が破損します。
  • リード線を長く延ばしたいのですが、出力信号への影響はどの程度でしょうか。

    例えば、湿度や温度を電圧として出力する機種では、電源用と出力用の2本のグランド線を備えています。従いまして、電源線に流れる電流により発生するリード線内部での電圧降下は
    出力電圧に影響を与えません。また、電流出力の場合は原理的にリード線長に依存しません。温度が抵抗出力の場合は3線式として配線して頂くことで自動補正されます。
  • RoHS指令に適合していますか。

    はい、適合しています。但し、高融点ハンダ等に適用される除外項目を利用しています。
  • 湿度センサ素子の寿命はどの程度ですか。

    基本的に寿命はありません。但し、特性の変化が発生する環境でご使用の場合は、その変化と要求される計測精度によって寿命(適正な「湿度センサ素子の交換」又は「電気回路の調整」の頻度)がきまります。特性の変化が飽和する環境の場合には、飽和後に「電気回路の調整」を行うと長期間安定に使用できるようになります。
  • 保証はついていますか。

    はい、ついております。電気回路部が1年、センサ素子はご使用温湿度により6ヶ月または3ヶ月です。
    有極性気体が多く存在する環境(大まかには臭気の強い環境)や連続的に結露が発生する環境、目視で確認できるほど物質が付着する環境では、初期不良を除き保証対象外とさせて頂く場合がございます。
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  • 仕様に記載されている「計測精度」とは何を意味しているのでしょうか。

    例えば、「相対湿度の計測精度」とは出荷時検査に於ける「弊社基準器である光学式露点計と温度計の出力から計算で求められた試験槽内の相対湿度」と「当該センサの電圧出力等から計算で求められた試験槽内の相対湿度」との最大許容差を意味しています。「試験槽内の真の相対湿度」と「当該センサの電圧出力等から計算で求められた試験槽内の相対湿度」との最大許容差ではありません。「精度」という単語は学術的ではありませんが広く用いられているため、弊社でも定義して使用しています。
  • 「校正」とは何を意味しているのでしょうか。

    例えば、「相対湿度出力の校正」とは「弊社基準器である光学式露点計と温度計の出力から計算で求められた試験槽内の相対湿度」と「当該センサの電圧出力等から計算で求められた試験槽内の相対湿度」の相関を示すことを意味しています。その相関が出荷時の仕様を満たしているか否かとは関係ございません。
  • トレーサビリティー証明の取得は可能ですか。

    可能です。
  • 湿度センサ素子の時間応答性の表記に「90%応答」とありますが、何を意味しているのでしょうか。

    例えば、センサ周囲相対湿度の20%RHから80%RHへのステップ状変化を仮定し、その変化分である60%RHの90%、即ち54%RH分の出力が変化し20%RHであった出力が74%RHになるまでの時間です。ステップ状の湿度変化を与えることは現実的には困難であるため、本来の90%応答時間は実験的に求められた値である15秒よりも短いはずです。
  • 湿度センサ素子はどのようなメカニズムで相対湿度を感じているのですか。

    適正な構造を持つ有機高分子薄膜が環境の相対湿度に応じて水分子を吸脱着し、その薄膜全体としての誘電率が変化することを利用しています。水分子を吸着していない状態での誘電率の温度依存性が低い高分子を使用しています。高分子は親水基と疎水基から構成されますが、90%RH程度では吸着点となっている親水基表面に平均で約2個の水分子が吸着します。高分子に含まれているすべての親水基が水分子の吸着点となるわけではなく、およそ数十個に1個程度が吸着点となっています。親水基と水分子との吸着エネルギーは水分子間の1本の水素結合のエネルギーと同等になるように親水基は選択されています。この吸着エネルギーの関係によって、高分子は温度に依存せず相対湿度に対応した吸着量を得ることができます。高湿度で水分子の吸着量が多い場合でもそれぞれの水分子間の相互作用により凝縮しない程度に疎水基が組み込まれています。凝縮が発生すると、湿度変化に対する吸着量のヒステリシス、温度依存性が発生し相対湿度センサにはなり得なくなるからです。凝縮状態にない吸着水分子の誘電率は液体の水とは全く異なり温度依存性を殆ど持ちません。水分子の誘電率の温度依存性は水分子に許された振動状態に依存するためです。
    このような状態を達成することにより、温度に依存せず相対湿度を感じることのできるセンサが作製されています。
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特性や仕様以外に関して

  • DC12VやDC24V等の直流電源を所有していないのですが。

    AC100Vのコンセントに接続できるACアダプタ(AC100~240Vに対応)、機器組み込み用端子台接続型直流電源の用意がございます。
  • 湿度センサ素子は国産ですか。

    はい、自社で製造しております。
  • 納期はどの程度ですか。

    10台程度までの御発注に対しましては、基本的には2週間です。お急ぎの場合はできる限り対応しますのでお知らせ下さい。
  • デモ器の試用は無料と表記されていますが、試用中にデモ器が破損した場合でも料金は無料でしょうか。

    はい、無料です。但し、破損の有無にかかわらずご返送費用のご負担は御願いしております。
  • デモ器を使ってみたいのですが、どうすれば良いでしょうか。

    ご担当者様名やご所属と共に、ご使用環境のおよその温度や湿度、圧力、空気以外の気体の有無、粉塵や水滴のセンサ部への入射の有無、センサのご希望出力などをなるべく詳しく、デモ器申込書でお知らせ下さい。適正なオプションを備えた適正機種を用意いたします。明らかに使用困難と推測される環境の場合は、デモ器の用意を辞退させて頂く場合がございます。
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  • デモ器を借りると、営業マンが来るのではないですか。

    デモ器は宅配便でお届けします。営業マンなどがお邪魔することはございません。
    返却も宅配便で御願いいたします。(返送料のご負担は御願いいたします)
  • デモ器の貸出期間に制限はありますか。

    はい。基本的には2週間以内で御願いしております。
  • 代理店または商社を教えて下さい。

    基本的には、弊社との直接取引でお願いしているため特定の代理店や商社はございません。商社様のご利用をご希望の場合は、お客様が通常ご利用の商社様にご相談下さい。
  • センサの取り付け工事は行っていますか。

    申し訳ございませんが、弊社では承っておりません。
  • 加湿器、除湿器、加熱器、冷却器等も扱っていますか。

    申し訳ございませんが、弊社では扱っておりません。
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  • OEMは可能でしょうか。

    可能です。貴社専用型番で作製いたします。
  • 湿度センサを輸出したいのですが、非該当証明書(該非判定書)の発行はできますか。

    可能です。事前に提出して頂く書類がございます。

薄膜試作に関するよくある質問と回答

  • 試作時の成膜条件は非公開なのでしょうか。

    基本パラメータは、すべて書面でお知らせ致します。
  • どのような成膜方法でしょうか。

    スパッタリング法または真空蒸着法です。
  • どのような種類の薄膜を成膜できますか。

    殆どの単金属、合金、酸化物、窒化物、フッ化物(融点が400℃以下、空気と激しく反応する、毒性、放射性、潮解性、腐食性があるものを除く)を成膜可能です。また、一部の有機物モノマーも成膜可能です。
  • 多層膜はできますか。

    スパッタリング法の場合は、3層まで可能です。
  • どのような材質の基材に成膜できますか。

    真空装置内でのガス放出が少なく、100℃程度以上の耐熱性がある材料が適しています。
    木材、ゴム、親水性の強い樹脂等は適しません。
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  • どのようなサイズの基材に成膜できますか。

    成膜方法や成膜条件に依存しますが、例えばスパッタリング法で、基材の成膜面を下に向けるレイアウト(フェイスダウン)であれば10cm角以内の板材(または、4 inch以内の円板状ウェハー)を4枚、または20cm角以内の板材(または、12 inch以内の円板状ウェハー)を1枚等です。フェイスダウンの場合は基材固定のため、一部に成膜されない領域が発生します。
     基材の成膜面を上に向けるレイアウト(フェイスアップ)の場合は、直径300mmの円板状ホルダー上に基材を並べることができます。フェイスダウンの場合のような、固定用部品による成膜されない領域は発生しません。
  • 凹凸のある基材に成膜できますか。

    可能ですが、水平面に比較して薄くなります。
  • どの程度の厚さの薄膜を成膜できるのですか。

    大まかには、平均膜厚で1nm~10000nmの範囲で指定可能です。成膜材料や基材の種類等にも依存します。
  • 抵抗値、透過率、反射率等物性値を指定した試作はできますか。

    薄膜の諸物性値は、基材の表面状態に大きく依存するため承ることができません。
  • 薄膜試作に関する情報が第3者に公開されることはありますか。

    絶対にありません。ご希望があれば機密保持契約を締結致します。
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  • 量産は可能ですか。

    弊社の成膜装置は、バッチ式であるため大量生産には適していません。
  • エピタキシャル成長はできますか。

    成膜材料に依ります。
  • 粒体表面に成膜できますか。

    平均粒径が数百ミクロン以上であれば可能です。粒径の小さい粉体への成膜はできません。
  • 2源同時スパッタリングは可能ですか。

    可能です。例えば2種類の単金属をターゲットとして合金を成膜できます。
  • クリーンルームでの成膜ですか。

    基材の基材ホルダーへのセットはclass100のクリーンベンチ内で行われますが、成膜装置はクリーンルーム内に置かれておりません。
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  • 成膜作業に立ち会うことは可能ですか。

    可能です。但し、基本的には弊社での作業スケジュールに合わせて頂いております。
  • 成膜材料の純度はどの程度でしょうか。

    99.9%以上を基本としています。
  • 放電用気体の純度はどの程度でしょうか。

    例えばアルゴンでは99.999%、酸素では99.999%、窒素では99.9995%です。その他の放電用気体もすべて純ガスです。
  • 代理店または商社を教えて下さい。

    基本的には、弊社との直接取引でお願いしているため特定の代理店や商社はございません。商社様のご利用をご希望の場合は、お客様が通常ご利用の商社様にご相談下さい。

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